磁控溅射中加热控温电源怎么用,是镀膜之前加热还是镀完膜之后加热的?

来源：学生作业学帮网编辑：学帮网时间：2024/05/08 06:49:13

磁控溅射中的加热温控电源有两种用途：
真空室内部除气烘烤
首次使用或长时间未使用,以及真空室开门时间过长--比如几天.在进行镀膜前,为了有很好的本底真空,应该对真空室进行烘烤除气.让真空室内的真空达到较好水平
经过长时间镀膜后,本底真空不能达到要求,可以对真空室进行烘烤,除气,提高本底真空.
其他需要内部烘烤的情况
在镀膜前对基片进行预热
基片放气较大,为了保证镀膜质量,先对基片进行预热除气
基片的镀膜需要一个较高的起始温度,可先对基片进行加热,达到温度后,开始镀膜.镀膜过程中,一般不需要加热.
有的膜需要就地退火,在镀膜完成后.加热到需要的温度后按工艺保温和降温.

磁控溅射中加热控温电源怎么用,是镀膜之前加热还是镀完膜之后加热的? 真空蒸镀与溅射镀膜优缺点蒸镀用的是环形电子枪加热,溅射用的是平面磁控溅射.麻烦说一下这两种镀膜方式各自优缺点磁控溅射镀膜的应用大面积玻璃磁控溅射镀膜技术的膜系怎么设计? 玻璃镀膜磁控溅射那家好呢?是可以合作的磁控溅射镀膜与蒸发镀膜的区别真空磁控溅射镀膜附着力差磁控溅射镀膜机,加热电流范围是多少,一般采用多大的电流来对基片加热? 磁控溅射镀膜中氧气氩气氮气分别起什么主要作用? 请问哪里有水平磁控溅射玻璃镀膜机卖呢?最好是广东地区的. 请问哪里可以做磁控溅射镀膜磁控溅射镀膜膜面放电问题您好,请教您一下,膜面放电原因及防治措施.和气体比例有关系吗?用脉冲电源也不行.很是着急!靶材清理得干净无中毒现象.做磨过边得没有,镀原片就有.打磨后会太阳能集热管是如何镀膜的原理好像是磁控溅射,想问问磁控溅射可以给玻璃管这样的柱状物镀膜吗?貌似一般是平板基片的.镀模是如何实现的呢? 谁知道真空蒸发镀膜和磁控溅射镀膜哪个更先进?主要是指光学真空蒸发镀膜玻璃用电子枪的和真空磁控溅射镀膜手机外壳装饰膜现在做玻璃的最先进的是什么镀膜类型蒸发过时了吗关于磁控溅射的几个问题,刚刚开始做磁控溅射,现在有几个问题,1.在细纤维（柱状）上镀,关于镀膜的厚度如何测量,能用台阶仪或者电镜吗2.要镀的材料是氧化锌,是直接用氧化锌靶还是锌靶在请问采用磁控溅射镀膜膜厚最多能镀到多少? 请问国内哪里有水平磁控溅射玻璃镀膜机卖呢? 急.磁控溅射镀膜机的工作原理,有谁知道啊?