请问采用磁控溅射镀膜膜厚最多能镀到多少?

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/13 07:23:57

请问采用磁控溅射镀膜膜厚最多能镀到多少?

奇怪的提问
磁控溅射理论上的镀层厚度是原子/分子厚度到100纳米级别,当然更厚也可以,只要溅射时间足够长+靶材足够多.
一般是做表面处理或是纳米膜的制备.