大面积玻璃磁控溅射镀膜技术的膜系怎么设计?

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/17 12:59:31

大面积玻璃磁控溅射镀膜技术的膜系怎么设计?

确实和小尺寸的玻璃镀膜膜系设计方法是一样的,但是,大面积玻璃磁控溅射必须确保溅射速率沿玻璃横向均匀分布.