PECVD中真空泵每管冷却水流量是什么意思

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/16 13:33:50

PECVD中真空泵每管冷却水流量是什么意思

就是每台真空泵冷却水的流量,一般压力够了,管路顺畅流量就没问题