PCVD与PECVD区别是什么?

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/28 03:13:40

PCVD与PECVD区别是什么?

PCVD 等离子体化学气相沉积
PECVD等离子增强化学气相淀积
后者多个E

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