磁控溅射靶材中毒是什么原因,有何现像?如何避免?不锈钢靶,现在靶材表面有许多不规则白色的斑点,而且有打火现像,靶材内冷却水浸泡磁铁,有许多污渍,是否对靶材也有影响?

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/09 09:31:28

磁控溅射靶材中毒是什么原因,有何现像?如何避免?
不锈钢靶,现在靶材表面有许多不规则白色的斑点,而且有打火现像,靶材内冷却水浸泡磁铁,有许多污渍,是否对靶材也有影响?

靶材中毒主要原因是介质合成速度大于溅射产额(氧化反应气体通入太多),造成导体靶材丧失导电能力,只有提高击穿电压,才能起辉,电压过高容易发生弧光放电.现象:靶电压长时间不能达到正常,一直处于低电压运行状态,并伴有弧光放电;靶表面呈现白色附着物或密布针状灰色放电痕迹.若要彻底杜绝靶中毒,必须用中频电源或射频电源代替直流电源;减少反应气体的通入量、提高溅射功率,清理靶材上的污染物(特别是油污)、选用真空性能好的防尘灭弧罩等方法均可有效防止靶中毒现象的发生.靶材内冷却水浸泡的磁铁,有污渍,只要磁场强度足够,冷却效果良好,对靶材影响不大.

磁控溅射靶材中毒是什么原因,有何现像?如何避免?不锈钢靶,现在靶材表面有许多不规则白色的斑点,而且有打火现像,靶材内冷却水浸泡磁铁,有许多污渍,是否对靶材也有影响? 磁控溅射中靶中毒是怎么回事,一般的影响因素是什么? 磁控溅射中靶中毒除了减少反应气体是不是可以增加氩气流量来避免中毒现象. 正已烷中毒有何反应 乙烯通入溴水和乙炔通入溴水现像有何不同?为什么 磁控溅射镀膜 膜面放电问题您好,请教您一下,膜面放电原因及防治措施.和气体比例有关系吗?用脉冲电源也不行.很是着急!靶材清理得干净无中毒现象.做磨过边得没有,镀原片就有.打磨后会 化学试剂中毒有何有效解毒办法? 氢氧化氨中毒有何疹状 直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下还有就是为什么直流磁控溅射只能用金属靶材?粘贴无效哈 磁控溅射餐具镀金色用什么靶材 磁控溅射法有哪些种类?反应磁控溅射法是不是分为直流磁控溅射法和交流磁控溅射法还有射频磁控溅射 非平衡磁控溅射 比较CO和CO2 中毒的机制有何不同,我们应该怎样预防其中毒? 为什么会有一年四季现像 磁控溅射镀膜开靶的时候靶水没开会有什么问题吗? 直流磁控溅射靶材被穿透,会有什么现象啊?如题.主要做的是金属靶材.在生产过程中,怎么监控靶材用量?随着靶材变薄,电压是不是会降低?靶材穿透会不会有打火现象啊! 磁控溅射时,靶材所形成的薄膜与基板的结合是什么情况?有化学键之类的结合吗?还是纯属分子间的结合,类似范得华力?或是其他? 磁控溅射中的二次电子?磁控溅射是撞击Ar原子的是什么粒子?既然Ar离子撞击出的是中性靶材原子,那靶材上的二次电子是怎么产生的?Ar+离子最后又去了哪里? 刚买回来的冰箱有一股化学味道 是什么原因 放食物进去会中毒吗?海尔的