水平式连续镀膜设备(PVD)水循环系统 要给什么设备冷却 ,比如 靶材 还有其他的哪些呀 .@jadezyk

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/06/02 02:38:02

水平式连续镀膜设备(PVD)水循环系统 要给什么设备冷却 ,比如 靶材 还有其他的哪些呀 .
@jadezyk

冷阱,靶材,腔体的外围,回转发热结构的冷却,真空泵