三氯氢硅过滤工艺是什么多晶硅行业中,改良西门子法,三氯氢硅的提纯是核心,目前国内三氯氢硅提纯这一步是怎么做的?

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/06/04 13:00:59

三氯氢硅过滤工艺是什么
多晶硅行业中,改良西门子法,三氯氢硅的提纯是核心,目前国内三氯氢硅提纯这一步是怎么做的?

先用旋风进行除尘,再用袋式过滤器,而后是急冷器进行洗涤分离~