高精度激光位移传感器测量陶瓷薄膜厚度效果怎么样?50微米厚度的,精度要求1微米.

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/14 07:30:15

高精度激光位移传感器测量陶瓷薄膜厚度效果怎么样?50微米厚度的,精度要求1微米.

可以用对射试测厚,及采用两台ZLDS113激光位移传感器,上下对射,各自测量薄膜的两侧,即可得到厚度值了.分辨率可以达到1个微米.