多晶硅中三氯氢硅合成湿法除尘的原理及作用
来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/30 19:36:42
多晶硅中三氯氢硅合成湿法除尘的原理及作用
用四氯化硅溶液洗涤三氯化铝或三氯化铁等杂质,湿法除尘塔起到关键作用.
干法除尘我可以帮你,我做旋风分离器的!
我们是利用粗品三氯氢硅喷淋流化床出来的混合气体,可以使用填料塔+一个再沸器,我们把它叫做釜式蒸发器,这样可以有效的除去气体中的重组分、AlCl3、FeCl3还有少量的硅粉。
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用四氯化硅溶液洗涤三氯化铝或三氯化铁等杂质,湿法除尘塔起到关键作用.
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