三氯氢硅提纯中B、P杂质为什么难以去除?

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/31 01:39:16

三氯氢硅提纯中B、P杂质为什么难以去除?

因为B、P在高温下也能与HCl等反应生成挥发性BCl3、PCl3,这些物质混在SiHCl3中难以去除

B、P的化合物种类繁多,有些和三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅的沸点相似