薄膜材料的单晶、多晶、非晶材料的组织结构

来源：学生作业学帮网编辑：学帮网时间：2024/05/13 17:07:11

1、单晶结构：结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律
地、周期性地排列,或者说晶体的整体在三维方向上由同一
空间格子构成,整个晶体中质点在空间的排列为长程有序.
2.多晶结构
多晶结构薄膜是由若干尺寸大小不等的晶粒所组成.
晶粒尺寸一般在10-100nm,亦称为微晶薄膜.
在薄膜形成过程中生成的小岛就具有晶体的特征（原子有规
则的排列）.由众多小岛聚结形成薄膜就是多晶薄膜.真空
蒸发与溅射法制成的薄膜多属于这种结构.
3、非晶结构（无定形结构或玻璃态结构）
它是一种近程有序结构.就是2～3个原子距离内原子排列是
有序的,大于这个距离排列是杂乱无规则的；
无定形结构薄膜在环境温度下是稳定的；
它或是具有不规则的网络结构（玻璃态,或是具有随机密堆
积的结构.前者主要出现在氧化物薄膜、元素半导体薄膜和
硫化物薄膜之中,后者主要出现合金薄膜之中）.

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