粗硅转变为纯硅的原理及方程式

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/06/01 08:35:16

粗硅转变为纯硅的原理及方程式

Si+2Cl2====SiCl4(450度)
SiCl4+2H2====Si(高纯度)+4HCl(高温)