在线薄膜测厚仪的测量原理是什么?精度可以多少?

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/31 18:31:12

在线薄膜测厚仪的测量原理是什么?精度可以多少?

如果是采用激光进行测厚的话,那测厚原理基本与ZTMS08一样,即
利用两个激光传感器的对射方式进行厚度测量,将传感器固定在稳定的支架上,确保两个传感器的激光能再同一点上.