场发射扫描电镜与普通的扫面电镜有什么区别?

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/16 10:19:49

场发射扫描电镜与普通的扫面电镜有什么区别?

sem 有冷场发射的和热场发射的,还有环扫.场发射的分辨率较高,达到1nm
环扫达3¬4nm,样品室比较大,景深大,可做断口和有污染的样品,电子束流达,可信度高.
还有什么不懂的的话,可以和我交流,大家共同进步.