写出粗硅到SiHCl3的化学方程式石英砂(焦炭、高温)→粗硅(HCl、精馏、加热)→SiHCl3(H2、1084℃)→高纯硅+HCl

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/06/06 10:29:24

写出粗硅到SiHCl3的化学方程式
石英砂(焦炭、高温)→粗硅(HCl、精馏、加热)→SiHCl3(H2、1084℃)→高纯硅+HCl

SiO2+2C=Si+2CO
2Si+6HCl=2SiHCl3+3H2

SiO2+C=Si+CO2
Si+3HCl=SiHCl3+H2
SiHCl3+H2=Si+3HCl