半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/14 00:09:49

半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?

主要是用真空规,一般前级真空一个,本底和工艺监控各一个,都选的是进口的真空计,皮拉尼、热电离规、电容薄膜规,品牌主要为瑞士Inficon或美国MKS