多晶硅还原炉如何清洗Si,除了热碱液和高压水清洗还有其他方法吗?有干法清洗吗?

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/28 23:48:17

多晶硅还原炉如何清洗Si,除了热碱液和高压水清洗还有其他方法吗?有干法清洗吗?

还有酸,我做过这个项目.因为是保密项目,所以只能告诉你酸