直流等离子体与电感耦合等离子体光源的区别

来源:学生学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/05/29 12:49:14

直流等离子体与电感耦合等离子体光源的区别

直流等离子体光源:内电极放电,因存在电极材料损耗问题,寿命短.
电感耦合等离子体 :外电极放电,无电极材料损耗,寿命长.